实测电子衡器内部结构组件参数

    PIMI测量原理的细节及其在亚波长纳米颗粒成像中的地磅遥控器应用之前已有报道[24]，[32]。然而，它在线状边缘特征化中的应用还没有得到充分的研究和验证。这是由于在目前的研究中，在相对复杂的边界条件下求解麦克斯韦远场散射光场方程时遇到了困难。因此，我们采用FDTD方法数值求解PIMI测量光照条件下的Maxwell方程组，例如旋转光照的偏振，以获得PIMI中所用的参数图像表示的远场散射分布。如图5所示，在不同的位置计算了电子地磅控制器去极化（Idp）、Ex和Ey之间相位差的正弦（sinδ）和ν的远场间接参数图像，包括图案化器件的直边和曲边。

    如第2节所述，PIMI能够通过测量和分析数字地磅遥控器图案化器件侧壁的远场光散射强度来获得高分辨率斯托克斯参数的光学图像（映射）[24]。由于Stokes参数对样品各向异性的高度敏感性，这些散射光波间接参数的图像可以进一步利用，以纳米级的分辨率获得这些侧壁的结构和成分信息。在这项工作中，图像是在暗场照明地磅控制器配置下拍摄的，因为与明场照明相比，暗场照明对光学各向异性具有更高的灵敏度[18]。

 

    我们比较了样品相同侧壁的常规显微图像和PIMI图像（图6（a））。在图6（c）中，间接图像显示了来自侧壁边缘的散射强度的波纹，这在常规显微图像中没有显示（图6（b））。通过沿着图中所示的线绘制强度剖面图，对I00和ν图像进行比较。结果如图6（d）所示。ɕ图像强度剖面中出现的峰值，即图6（d）中的红线，清楚地证实了PIMI无线地磅遥控器感应超出衍射极限的侧壁结构信息的能力。此外，如图6（d）中的两个点圆所示，它证明了ν图像的边缘扩展函数比I00图像的边缘扩展函数窄得多。有趣的是，两个边缘扩散函数出现在ɕ图像的强度剖面中，而I00图像中仅显示一个边缘。结果表明，与传统显微镜相比，PIMI具有更高的对比度和分辨率。